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全自動(dòng)高真空晶圓鍵合設(shè)備

多年來(lái),二所立足自主裝備,與產(chǎn)業(yè)融合,形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

關(guān)鍵詞:

服務(wù)熱線:

  • 產(chǎn)品描述
  • 詳細(xì)參數(shù)
  • 全自動(dòng)高真空晶圓鍵合設(shè)備用于射頻、慣性、光電、信號(hào)傳輸?shù)?微系統(tǒng)晶圓級(jí)封裝,高端 MEMS、高性能邏輯器件等同質(zhì)異質(zhì)鍵合, 尤其適用于低溫鍵合。 可選配模塊有烘烤模塊、激活模塊、對(duì)位模塊、鍵合模塊以及冷 卻模塊,根據(jù)用戶需求靈活選擇。

  • 基底尺寸:8/6 英寸

    鍵合溫度:550℃ ( 可選 )

    溫度均勻性:≤ ±1%

    鍵合壓力:100KN

    極限真空度:9×10-6 Pa

    對(duì)位精度:≤ 1μm

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二研究所成立于1962年,是我國(guó)以智能制造、微電子裝備及應(yīng)用、碳化硅裝備及應(yīng)用、新能源裝備及應(yīng)用等產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)的骨干單位。多年來(lái),二所立足自主裝備,與產(chǎn)業(yè)融合,形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

 

二所是科技部“國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心(山西)”、科技部“國(guó)家科技合作基地”、工信部“智能制造試點(diǎn)示范”、國(guó)防科工局“軍用微組裝技術(shù)創(chuàng)新中心”、山西省“寬禁帶半導(dǎo)體制備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、山西省“微組裝工程技術(shù)研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng)新中心”等的主建和依托單位。近年來(lái),獲得國(guó)家、省部級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)11項(xiàng)。

 

站在新的歷史起點(diǎn),二所將以人工智能和半導(dǎo)體技術(shù)為核心,強(qiáng)化以軍為本、以民為主的創(chuàng)新鏈和以裝備為本、以應(yīng)用為主的產(chǎn)業(yè)鏈,實(shí)施智能制造、微電子、SiC和新能源產(chǎn)業(yè)躍升計(jì)劃,不斷提升核心競(jìng)爭(zhēng)力和盈利能力,形成良好可持續(xù)的高質(zhì)量發(fā)展態(tài)勢(shì)。

產(chǎn)品詢價(jià)